國立成功大學  研究發展處
BANYAN
第二十一卷 第三期 - 2012年一月十三日
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400奈米氮化銦鎵-氮化鎵與氮化銦鎵-氮化鋁鎵多重量子井發光二極體
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科技界最榮耀的桂冠 成大鄭芳田講座教授 榮獲傑出科技貢獻獎
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科技界最榮耀的桂冠 成大鄭芳田講座教授 榮獲傑出科技貢獻獎
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【台南訊】
球半導體製造系統虛擬量測研究先驅,成功大學製造資訊與系統研究所鄭芳田講座教授,以獨步全球之先進技術,造福產業;最近以「雙階段虛擬量測方法」榮獲「行政院2011年傑出科技貢獻獎」。鄭芳田講座教授將此殊榮和成大師生共享。也曾獲行政院傑出科技貢獻獎的成大校長黃煌煇,連聲賀喜,欣喜成大又產生一位影響力深遠的科技大師。

成大校長黃煌煇2006年也獲得行政院傑出科技貢獻獎,瞭解這個獎項的難度和意涵,黃煌煇校長說,行政院傑出科技貢獻獎不僅表彰學術上的傑出研究(如計算論文的篇數等),更重要的還需有專利與技轉且對產業有實質的貢獻。鄭芳田講座教授的「雙階段虛擬量測方法」,已經應用在各科技大廠,深獲業界的高度肯定,行政院頒發的獎項,誠為實至名歸。

鄭芳田講座教授研發的「雙階段虛擬量測方法」兼顧立即性與準確性;除了能在剛收集到機台製程資料後,即時產生第一階段虛擬量測值以滿足立即性需求外,亦可在取得被抽測之工件的實際量測值後(用以重新訓練或調校),重新計算此被抽測之工件所屬卡匣內之所有工件的第二階段虛擬量測值,俾滿足準確性之需求。另外,「雙階段虛擬量測方法」亦提供信心度指標及相似度指標,可進行失效原因追溯與生產機台資料分析,令使用者能安心採用,可將產品品質檢測覆蓋率提高到100% ,且有能支援逐片檢測模式之先進製程Run-to-Run控制。此最先進的虛擬量測技術,已經廣泛應用在半導體、面板、以及太陽能產業等生產線上。

鄭芳田講座教授從2004年起就展開與虛擬量測技術之相關研究,這麼多年來,已經發表32篇相關論文,並且成功榮獲中華民國、美國、日本、韓國、與中國大陸等5國11件專利,另有12件審查中,在虛擬量測的領域裡建立完整的專利地圖,並成功技轉給台積電、奇美電子、茂迪、與先知科技等科技公司,大幅提升台灣半導體、面板、及太陽能產業在全球的競爭力。

成大電機系第一名畢業的鄭芳田講座教授,因沒錢買出國留學的機票,選擇進入有在職進修機會的中科院工作,認真又負責的態度獲得各界長官肯定,也為自己爭取到出國進修機會,圓了出國留學的夢,取得美國俄亥俄州立大學電機工程研究所碩、博士學位。他在中山科學院19年期間,從研究助理,一路奮鬥到最高階研究員,更曾負責過重大國防研發計畫。

「做人比做事重要,凡事追求真善美」是鄭芳田教授的座右銘,他也以2011年最夯歌曲唸你的歌詞「我的字典裡沒有放棄,因為已鎖定你!」,強調要做就要做最好的。他認為理論除了要與實務結合外,更要以專業來解決問題,在沒有找到最好的方法之前,一定要堅持下去,直到成功為止,這不僅是個人的自我實現,也是對整個社會及人類的責任。

這樣的人生態度,讓他獲獎無數,分別榮獲教育部91年度自動化領域之「大學校院教師產學合作獎」、國科會95年度「傑出產學合作獎」、於93及97年度兩度榮獲成大「產學合作成果特優教師獎」、並榮獲97年經濟部大學產業經濟貢獻獎(個人獎),且鄭教授亦榮獲國科會95及98年度「傑出研究獎」。由於上述之研究成效與積極參與IEEE之相關國際會務及學術活動,鄭教授自2008.01.01起榮膺國際電機與電子工程師學會會士(IEEE Fellow)。最近,鄭教授並榮獲2010年第十七屆「東元獎」與2011年「國家發明創作獎」之銀牌獎。

國科會每年舉辦「行政院傑出科技貢獻獎」選拔,為表彰科學研究人員對國家的貢獻,2011年從40件推薦與主動發掘之案件中選出4案7位得獎人,而畢生投入教育界並積極從事科技創新、且素有台灣「半導體生產自動化教父」美譽的成大鄭芳田教授順利脫穎而出,獲得行政院2011年傑出科技貢獻獎,在2011年12月28日由行政院副院長陳沖親自頒發獎盃乙座及新台幣100萬元獎金。

「行政院2011傑出科技貢獻獎」獲獎者,除成大製造資訊與系統研究所鄭芳田講座教授之創新發明「雙階段虛擬量測方法」外,還有中央研究院生物醫學科學研究所何美鄉研究員之創新發明「2009 A/H1N1新型流感疫苗的研發與新興傳染病的防制」、國立臺灣大學醫學院臨床醫學研究所特聘教授兼所長高嘉宏之創新發明「病毒與宿主基因變異於慢性B型肝炎干擾素個人化治療之研究」、與財團法人國家實驗研究院地震工程研究中心由建物組黃世建組長所率領之團隊的創新發明「校舍耐震能力評估與補強技術之研發」。

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