免疫磁珠晶片是由二片PDMS層及一片玻璃層組成,最上層稱作流道層,包含數個微管道、儲存槽及一個反應槽,中間層稱作氣壓腔體層,包含數個微幫浦、微閥門及一個微混合器。首先在矽晶片上利用微機電技術,形成SU-8光組的圖形元件,稱之為母模,隨後利用鑄造及塗佈技術形成PDMS元件層,最後將二片PDMS層與玻璃層,利用氧電漿設備進行表面改質後完成封裝流程,圖3(a)所示,為免疫晶片實體圖。圖3(b-1)秀出薄膜式微混合器、微幫浦;圖3(b-2)微流道的母模實體圖;圖3(b-3)微分選閥門的母模實體圖;圖3(b-4)所示,為微流體聚焦管道母模實體圖,其聚焦管道截面尺寸是寬250μm x 高100μm。光學偵測模組是由一個光電倍增管、一個半導體電射、兩個光學濾波片、兩組光學聚焦鏡片、一個分光鏡及一個光學攝影機(Charge coupled device, CCD)所組成。圖3(c)所示,為螢光分析儀實體圖,其整體尺寸是長400mm x 寬260mm x 高500mm。